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yìn wēi · ㄧㄣˋ ㄨㄟ
数据更新：2026-07-14 14:35:10
新的SCIL（基板完整压印微影）技术是用于亚50奈米图形制造的技术，它运用于小尺寸高解析度硬质印模和解析度低于200nm的大面积软质印模之间的优势互补。