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tóu yǐng tòu jìng · ㄊㄡˊ ㄧㄥˇ ㄊㄡˋ ㄐㄧㄥˋ
数据更新：2026-07-10 11:34:57
投影透镜是指对准光线透过曝光系统的透镜，用于对准的激光束照在晶圆上，其反射束经过曝光系统的透镜，汇聚在掩模上成像。