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lí zi xǐ · ㄌㄧˊ ㄗ˙ ㄒㄧˇ
数据更新：2026-07-11 03:30:44
离子铣，也称为离子束刻蚀（IBE），是具有强方向性等离子体的一种物理刻蚀机理。它能对小尺寸图形产生各向异性刻蚀。