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数据更新：2026-07-16 02:07:51
| 词语 | 衍射光学元件 |
|---|---|
| 拼音 | yǎn shè guāng xué yuán jiàn |
| 拼音字母 | yan she guang xue yuan jian |
| 拼音首字母 | ysgxyj |
| 注音 | ㄧㄢˇ ㄕㄜˋ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝˊ ㄩㄢˊ ㄐㄧㄢˋ |
| 注音符号 | ㄧㄢ ㄕㄜ ㄍㄨㄤ ㄒㄩㄝ ㄩㄢ ㄐㄧㄢ |
衍射光学元件(Diffractive Optical Elements, DOE)是光刻机中一系列可动的镜片(图1所示)，主要用于产生光刻所需要的光源。一台光刻机的光源大概有4000片镜片。